专利名称：膜构件及其制造方法专利类型：发明专利发明人：笹井建典
申请号：CN201280056671.9申请日：20120914公开号：CN103958726A公开日：20140730
摘要：膜构件具有由树脂膜构成的基材和配置于该基材的表背中至少一侧的氮氧化铝(AlON)膜，该氮氧化铝膜的组成为Al：39at％～55at％、O：7at％～60at％、N：1at％～50at％。膜构件阻气性优异。此外，膜构件的制造方法具有：减压工序，在溅射成膜装置(1)的腔室(8)内，以与铝制的靶材(30)相面对的方式配置基材(20)，并将腔室(8)内保持在规定的真空度；以及成膜工序，向腔室(8)内导入载气和含有氮的原料气体，在规定的真空度下且在腔室(8)内的氧气压相对于氮气压的比率为20％以下的气氛中，在基材(20)的成膜面上形成氮氧化铝膜。
申请人：东海橡塑工业株式会社
地址：日本爱知县
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
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