（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN201010167950.5 （22）申请日 2010.05.04
（71）申请人 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司
地址 518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园北区新西路18号
（10）申请公布号 CN101883307B
（43）申请公布日 2012.12.12
（72）发明人 杨斌 （74）专利代理机构
代理人
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
电容MEMS麦克风振膜
（57）摘要
本发明涉及微型麦克风领域，具体指
一种应用于电子设备上，具有更加灵敏度的电容MEMS(micro-electro-mechanical system)麦克风振膜，它包括与背板构成电容系统的振膜单元，所述振膜单元包括位于中央位置悬置的内膜和外围膜片，其中所述的外围膜片由内膜边缘向外衍生延伸出至少四对均匀分布的环形折梁构成，以减小绝缘层对振膜单元周侧边缘部的约束，可以有效提高灵敏度；同时本发明的振膜单元，能够防止振膜单元振颤时的平面扭动，有效释放应
力，从而进一步改善麦克风性能的稳定性。 法律状态
法律状态公告日
2010-11-10 2010-12-22 2012-12-12 2017-06-16
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
专利申请权、专利权的转移
法律状态
公开
实质审查的生效 授权
专利申请权、专利权的转移
权利要求说明书
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说明书
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