专利名称：真空阀、真空泵以及真空排气系统专利类型：发明专利
发明人：中村雅哉,小崎纯一郎,中谷敦夫,平田伸幸申请号：CN201711122617.0申请日：20171114公开号：CN108302213A公开日：20180720
摘要：本发明提供一种能够进行与真空泵的状况相应的阀动作的真空阀。真空阀具备：阀片，受到开闭驱动；阀驱动部，对阀片进行开闭驱动；通信端子133，输入表示真空泵的动作状态的泵信息信号；以及阀控制部13，基于所输入的泵信息信号来控制阀动作。
申请人：株式会社岛津制作所
地址：日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
国籍：JP
代理机构：北京中原华和知识产权代理有限责任公司
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