专利名称：可在线自检测的MEMS微波功率传感器及制备方法专利类型：发明专利
发明人：张志强,刘佳琦,黄晓东,韩磊申请号：CN201911417524.X申请日：20191231公开号：CN111044798A公开日：20200421
摘要：本发明的可在线自检测的MEMS微波功率传感器，通过将电容式MEMS微波功率传感器和对称热电式MEMS微波功率传感器串联在MIM电容两侧，构成双通道MEMS微波功率传感器；利用分压法，通过向连有标准电阻的压焊块上施加参考电压，即可对负载电阻的阻值进行检测；被检测电阻若处于正常工作状态下，热电堆两侧的负载电阻会分得相同的电压并转化为相同的热量，即热电堆两侧的温差完全由输入的微波功率产生；并且由于在左侧共面波导信号线上设有MIM电容，隔绝MEMS悬臂梁下方的共面波导信号线和后方的共面波导信号线的直流互联，以实现测量微波功率的同时检测负载电阻的功能；该MEMS微波功率传感器具有低损耗、高灵敏度以及具有终端电阻在线自检测的特点。
申请人：东南大学
地址：210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
国籍：CN
代理机构：南京众联专利代理有限公司
代理人：许小莉
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