专利名称：弹性波装置及其制造方法专利类型：发明专利发明人：木间智裕
申请号：CN201410558151.9申请日：20141020公开号：CN104600189A公开日：20150506
摘要：本发明提供一种弹性波装置及其制造方法，能够提高耐电力性且降低第1、第2电极问的接触电阻。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，其具有主面；和第1电极(11)，其设置在所述压电基板(2)的所述主面上，由从下层至上层层叠了至少3层金属膜而成的第1层叠金属膜构成，至少包含IDT电极(3)，所述第1层叠金属膜包含作为最上层的Ti膜(1lc)，具有按照该Ti膜(1lc)的Ti结晶的(001)面的法线方向与形成所述压电基板(2)的压电体的结晶的Z轴一致的方式在一定方向上取向的结晶方位。
申请人：株式会社村田制作所
地址：日本京都府
国籍：JP
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：李逸雪
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