专利名称：晶圆圆周定位装置专利类型：实用新型专利发明人：陈朝星
申请号：CN202021234180.7申请日：20200629公开号：CN212230402U公开日：20201225
摘要：本实用新型公开了一种晶圆圆周定位装置，包括：旋转机构，用于带动放置其上的某一规格的晶圆旋转；对中机构，包括多对独立控制的夹爪，每对所述夹爪用于从圆周方向对所述旋转机构上相对应的一种规格的所述晶圆进行夹持，以将所述晶圆的圆心与所述旋转机构的旋转中心进行对中；其中，各对所述夹爪的夹持面处于相同高度。本实用新型通过采用多对夹爪分别夹持对中的方式，对晶圆中心和回转轴中心的同心度进行精确定位，仅需通过简单地更换夹爪规格，即可实现针对不同规格的晶圆的定位。
申请人：上海福赛特机器人有限公司
地址：200233 上海市徐汇区宜州路188号2号楼1101室
国籍：CN
代理机构：上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
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