专利名称：一种制备金刚石涂层的设备专利类型：实用新型专利发明人：滕守斌
申请号：CN201620158230.5申请日：20160302公开号：CN205398722U公开日：20160727
摘要：本实用新型公开了一种制备金刚石涂层的设备，其包括底座和罩扣于所述底座上的钟罩以及真空泵，所述底座和所述钟罩之间形成一反应腔，一反应气体输送管贯穿所述底座通向所述反应腔内，所述底座上设有样品台，所述样品台上方布设有热丝，所述热丝连通有热丝电源，所述样品台与所述底座之间设有样品台冷却装置，本实用新型设备具有结构简单、涂层效果理想、被涂覆的产品使用寿命长的优点。
申请人：上海科弦精密工具有限公司
地址：201619 上海市松江区洞泾镇沈砖公路5599号8幢一楼
国籍：CN
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