专利名称：等离子清洁装置及等离子清洁方法专利类型：发明专利发明人：郑建邦
申请号：CN201110053151.X申请日：20110304公开号：CN102652946A公开日：20120905
摘要：一种等离子清洁装置，包括壳体、多个正极板、多个负极板、正极电源、负极电源、多个固定件、进气管道及排气管道。壳体围合形成一个反应室。多个正极板与多个负极板间隔排列并将反应室分隔成多个反应空间。多个固定件均固定于外壳且分别位于一个反应空间中。进气管道包括进气总管及多个进气分管，进气总管自壳体外延伸入壳体内。每个反应空间内均设置有至少一个靠近正极板的进气分管。该排气管道包括排气总管及多个排气分管。该排气总管自壳体外延伸入壳体内，每个反应空间内均设置有至少一个靠近负极板的排气分管。每个排气分管均开设有多个排气孔。本发明还提供一种使用上述等离子清洁装置的等离子清洁方法。
申请人：富葵精密组件(深圳)有限公司,臻鼎科技股份有限公司
地址：518103 广东省深圳市宝安区福永镇塘尾工业区工厂5栋1楼
国籍：CN
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