专利名称：一种检测器件、MEMS陀螺仪专利类型：发明专利
发明人：王丹,宋吉涛,余综,牛满科,李慧灵申请号：CN202010643727.7申请日：20200707公开号：CN111829496A公开日：20201027
摘要：本申请公开了一种检测器件、MEMS陀螺仪，涉及微电子机械系统领域技术领域。本申请的检测器件固定在玻璃基底上，包括：第一电极块、第二电极块、第一质量块、第二质量块和固定锚点，第一电极块和第一质量块、第二电极块和第二质量块均通过电容连接，第一电极块和第二电极块结构相同，第一质量块和第二质量块结构对称，对称设置在固定锚点之间；第一质量块、第二质量块、固定锚点之间通过支承梁连接，第一电极块、第二电极块、固定锚点均与玻璃基底键合，第一质量块和第二质量块悬浮在玻璃基底上方。本申请的技术方案提高了陀螺仪的品质因子Q，实现了驱动和检测的机械解耦，减少了噪声信号，提高了陀螺仪的信噪比。
申请人：北京坦达联轩控制技术有限公司
地址：100088 北京市丰台区卢沟桥东关3.5号8幢2层203室
国籍：CN
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