一种激光晶圆切割用收料装置[实用新型专利]

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专利名称：一种激光晶圆切割用收料装置专利类型：实用新型专利发明人：巩铁建,陶为银申请号：CN202021865459.5申请日：20200831公开号：CN213053335U公开日：20210427

摘要：本实用新型公开了一种激光晶圆切割用收料装置，包括支撑板、第一立柱和第二立柱，所述第一立柱顶部固定连接承托件，所述支撑板上方固定安装有废料收集箱，所述第二立柱顶部固定连接支架，所述支架上方设置有两组平行传送结构，所述传送结构一侧固定安装有驱动电机，且驱动电机输出端与传动齿轮连接。该激光晶圆切割用收料装置，结构设置合理，承托件以及导辊上包覆的耐高温石棉层，能防止下落的晶圆工件摔伤，切割下来的晶圆工件可以通过传送装置及时输送出来，避免切割的高温熔渣及激光灼伤工件，通过导辊之间的废料槽，废料收集箱对高温熔渣和废料进行收集，能够更好的保证激光晶圆切割机的安全作业，促进激光晶圆切割机行业的发展。

申请人：河南通用智能装备有限公司

地址：450001 河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号

国籍：CN

代理机构：郑州中原专利事务所有限公司

代理人：范小方

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