专利名称：衬底处理系统、衬底处理装置和衬底处理装置的显
示方法
专利类型：发明专利发明人：浅井一秀
申请号：CN201110241576.3申请日：20110817公开号：CN102569124A公开日：20120711
摘要：本发明提供了一种衬底处理系统、衬底处理装置和衬底处理装置的显示方法，该衬底处理系统能够检测衬底处理装置的每个部件的条件的任何改变。在包括用于处理衬底的衬底处理装置和与之连接的群组管理装置的衬底处理系统中，衬底处理装置被配置成：获取监视数据，该监视数据至少表示衬底处理装置的每个部件的条件；聚集多个监视数据以生成监视数据的最大值、平均值和最小值中的至少一个值；并且向群组管理装置发送包数据。群组管理装置被配置成从衬底处理装置接收包数据并且在群组管理装置中可读取地存储包数据。
申请人：株式会社日立国际电气
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京市金杜律师事务所
代理人：王茂华
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