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生物传感器及其制作方法[发明专利]

来源：二三娱乐

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 CN 109690305 A(43)申请公布日 2019.04.26

(21)申请号 2016800091.8(22)申请日 2016.09.07(85)PCT国际申请进入国家阶段日

2019.03.07(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/CN2016/0983 2016.09.07(87)PCT国际申请的公布数据

WO2018/045514 ZH 2018.03.15

(71)申请人华为技术有限公司

地址 518129 广东省深圳市龙岗区坂田华

为总部办公楼(72)发明人徐挽杰　杨喜超　张臣雄　(74)专利代理机构北京龙双利达知识产权代理

有限公司 11329

代理人时林　毛威()发明名称

生物传感器及其制作方法(57)摘要

一种生物传感器及其制作方法，该生物传感

底栅(110)；第一电介质层(140)；线隧穿器包括：

结构，该线隧穿结构由第一半导体层(161)和第二半导体层(162)部分重叠构成；源极(120)和漏极(130)；第二电介质层(150)；以及生物物质受体(170)，该生物物质受体(170)用于与被探测物结合进行选择性探测。该生物传感器采用采用第一半导体层(161)和第二半导体层(162)重叠构成的线隧穿结构，制作较为容易，由于亚阈值摆幅不受载流子热分布的，在室温下可以实现更小的亚阈值摆幅，并且整个重叠区域均是有效信号感测区域，从而提高传感器的灵敏度。另外，采用底栅，可以方便的设置传感器的静态工作点，实现最优的灵敏度性能。

(51)Int.Cl.

G01N 27/414(2006.01)

CN 109690305 A

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