专利名称：三氧化二铝薄膜及其制备方法专利类型：发明专利发明人：王慷慨,熊玉明申请号：CN201710271598.1申请日：20170424公开号：CN107130228A公开日：20170905
摘要：本发明提出了三氧化二铝薄膜及其制备方法，该三氧化二铝薄膜包括：(1)配置前驱体溶液，其中，该前驱体溶液包括α‑AlO水溶胶、助剂和去离子水；(2)提供干净的基板，并将基板放入前驱体溶液中进行沉积处理；以及(3)将表面沉积有前驱体溶液的基板进行烧结处理，以便获得镀有三氧化二铝薄膜的基板。本发明所提出的制备方法，获得的三氧化二铝薄膜的结晶度高、致密性好，且由于采用了液相化学沉积法，该制备方法具有成本低、设备简单、操作简便、镀膜效率更高的优点，相比于传统有的气相沉积法，该方法的工艺流程简单，还无需高昂的真空维持系统与气路控制系统，因此具有大规模产业化生产的潜力。
申请人：美的集团股份有限公司
地址：528311 广东省佛山市顺德区北滘镇美的大道6号美的总部大楼B区26-28楼
国籍：CN
代理机构：北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：赵天月
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容