专利名称：电感式压力传感器及压力测量电路专利类型：实用新型专利
发明人：霍红颖,湛邵斌,胡涛,陆芸婷,万学元申请号：CN201720666833.0申请日：20170608公开号：CN206876313U公开日：20180112
摘要：本实用新型适用于传感器技术领域，提供了一种电感式压力传感器及压力测量电路，包括：具有第一空腔的衬底、可动薄膜和电感线圈；电感线圈设置在衬底的第一空腔上部，电感线圈的两端分别设置在衬底上，电感线圈与衬底的接触部分设置有绝缘介质层；可动薄膜设置在电感线圈的下部，可动薄膜与电感线圈之间形成第二空腔，可动薄膜与衬底的第一空腔的内壁连接，可动薄膜与电感线圈通过支撑部件连接。当可动薄膜受到压力时，可动薄膜的位置发生变化，与可动薄膜连接支撑部件位置发生变化，进而带动与支撑部件连接的电感线圈的形状发生变化，由于设计支撑部件处于可动薄膜上，可以达到使电感线圈的电感值变化量较大的目的，进而使本实用新型电感式传感器的灵敏度较高。
申请人：深圳信息职业技术学院,湛邵斌
地址：518029 广东省深圳市龙岗区龙翔大道2188号
国籍：CN
代理机构：深圳中一专利商标事务所
代理人：官建红
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