专利名称：一种晶圆盒专利类型：实用新型专利
发明人：邹桂明,常兵,杭晓宇,吴晓杰,施明明申请号：CN201921076374.6申请日：20190710公开号：CN209929277U公开日：20200110
摘要：本实用新型涉及的一种晶圆盒，包括放置于机台上的晶圆盒本体，所述晶圆盒本体包括底盘，所述底盘上设置有支撑框架，所述支撑框架包括顶板和两个左右对称的竖立的侧板，所述侧板的内侧面自上而下间隔布置有多个承载条，左右两侧的承载条一一对应，所述顶板的前上方设置有横向的丝杆，所述丝杆的一端设置有驱动电机，所述丝杆上套设有螺母座，所述螺母座的前侧向前延伸有连接部，所述连接部内穿设有向下延伸的挡杆，所述挡杆的下方设置有横向的直线导轨，所述直线导轨上设置有滑座，所述滑座的顶面与挡杆的底端连接。本实用新型一种晶圆盒其结构设计合理，可防止晶圆抖落破损、降低废品率。
申请人：江苏七维测试技术有限公司
地址：214000 江苏省无锡市南湖大道503号3幢201
国籍：CN
代理机构：北京中济纬天专利代理有限公司
代理人：赵海波
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