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一种用于多晶硅的金刚线切割装置[实用新型专利]

来源:二三娱乐
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种用于多晶硅的金刚线切割装置专利类型:实用新型专利发明人:张伟,闫立

申请号:CN201820829737.8申请日:20180531公开号:CN208359138U公开日:20190111

摘要:本实用新型公开了多晶硅片切割领域内的一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法,该装置包括放线辊和收线辊,放线辊放出的金刚线依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮,最后收回卷绕在收线辊上;该方法包括步骤:放线辊储线段向收线辊放线,收线轮向放线轮放线,收线轮继续向放线轮放出金刚线,同时晶托下降,晶棒朝着线网下压,直至晶棒被线网切割成若干片,放线轮向收线轮放线,收线轮向放线辊储线段放线,放线辊储线段再向收线辊储线段放线,放线辊储线段空跑线。本实用新型通过收线轮向放线轮输送金刚线,确保切割晶棒第一刀均是采用新线,避免产生入刀TTV,入刀翘曲和线痕等问题。

申请人:扬州续笙新能源科技有限公司

地址:225800 江苏省扬州市宝应县氾水镇工业集中区跃胜路

国籍:CN

代理机构:南京苏科专利代理有限责任公司

代理人:董旭东

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