专利名称：一种压电谐振器专利类型：实用新型专利
发明人：何军,其他发明人请求不公开姓名申请号：CN201721512611.X申请日：20171114公开号：CN207339804U公开日：20180508
摘要：本实用新型实施例公开了一种压电谐振器。其中，压电谐振器包括：衬底，所述衬底的上表面形成有一凹槽；第一压电层，覆盖于所述衬底的上表面以及所述凹槽的开口，以使所述凹槽与所述第一压电层形成空腔；第一电极和温度补偿层，设置在所述第一压电层远离所述衬底的一侧，在垂直于所述衬底的方向上，所述第一电极在所述衬底上的投影位于所述凹槽所在的区域。本实用新型实施例通过在衬底的上表面形成有一凹槽，使凹槽与第一压电层形成空腔，可以有效避免了声波能量泄漏到衬底中，降低了声波能量在衬底中的损耗，可得到高Q值的压电谐振器；并且设置的温度补偿层的投影位于空腔的区域内，可以有效改善温度补偿效率。
申请人：安徽云塔电子科技有限公司
地址：230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F1栋22层
国籍：CN
代理机构：北京品源专利代理有限公司
代理人：孟金喆
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